半導体産業におけるステンレス鋼管の応用
ステンレス鋼管、特に高純度継目無ステンレス鋼管（316L、316L EP、BA）は、主に超純ガス、薬品、超純水の輸送を担う半導体製造工場（Fab）において欠かせない基材です。
半導体チップの製造は汚染に非常に敏感です。
1. 粒子汚染
2. 金属汚染
3. 湿気による汚染
4.有機物（TOC）による汚染
ナノメートルレベルの不純物であっても、ウェーハ全体の故障につながる可能性があります。
したがって、輸送システムには次のものが必要です。
1.超高純度
2.不純物の排出が極めて少ない
3.耐食性
4.パーティクルが発生しない
5.長期安定勤務能力
そして、現在では電解研磨 (EP) 316L ステンレス鋼チューブが主流のソリューションとなっています。
主なアプリケーションシナリオ:
1.特殊ガス供給システム
2. 超純水システム
3. 薬液供給システム
4.真空システム
半導体業界で広く使用されているステンレスチューブの規格
| 名前 | 標準 |
| 材質 | 316L |
| 標準 | ASTM A269 |
| 超高純度スタンダード | セミF20 |
| 表面処理 | 学士、EP |
| 粗さ | Ra ≤ 0.25 μm |
| 溶接方法 | オービタル溶接 |
| 清潔度クラス | クラス100/ISO5 |
